中国光刻机之殇：入华32年，ASML出货700多台，但EUV被美国盯死

中国必要光刻机，尤其是支持先辈制程的高端光刻机。

详细来说，就是 EUV （极紫外光源）光刻机。

今朝，天下上可以或许制造 EUV 光刻机的，只有一家公司，它就是荷兰光刻机巨头 ASML（中文名为阿斯麦）。现实上，作为一家外企，ASML 进入到中国市场已经高出 30 年，可以说是渊源深挚。

可是，因为贸易之外的缘故起因，ASML 无法向中国大陆市场出口 EUV 光刻机，尽量它本身着实长短常愿意的。

背后的始作俑者，照旧美国。

ASML 与中国市场的深挚渊源

中国大陆市场，一向是 ASML 在环球范畴内最重要的市场之一。

以 2020 年为例，ASML 在第二季度总共卖出了 61 台光刻机（包罗新装备和二手装备），在第三季度卖出了 60 台——这个中，有高出 24 台是卖给了中国大陆。

凭证 ASML 环球副总裁、中国区总裁沈波的说法，2020 年第二、第三季度，公司发往中国大陆地域的光刻机台数高出了环球总台数的 20%。

虽然，这些出售到中国大陆的光刻机，不包括 EUV 装备。

对此，沈波暗示：

ASML 必必要在遵遵法令礼貌的条件下举办光刻机出口。但我们对向中国出口光刻机是保持很开放立场的，我们对环球客户都等量齐观，只要是我们可以或许提供的技能和装备，我们城市尽力支持。

可以看到，假如解除外界身分的滋扰，ASML 自身是很有诚意与中国相助的。

雷锋网相识到，ASML 创立于 1984 年；其时，市面上另有多家出产光刻机的公司，而 ASML 位居最后一名。不外，仅用 2 年时刻，ASML 就研制出了型号为 PAS2500 的晶圆步进式光刻机（Stepper），它可以出产 VLSI 一代的芯片，这使 ASML 在市场上站稳了脚跟，并拥有了必然的名气。

值得一提的是，早在 1988 年，ASML 在进军亚洲之时，就向中国大陆发售了最早一台装备。

颠末三十多年的深耕，ASML 在中国大陆已经出售 700 多台光刻机装机，涵盖了 ASML 公司的（EUV 装备之外）的绝大部门范例产物。

不只云云，在 2000 年天津创立分公司的基本上，ASML 今朝在中国设有 12 个办公室，11 个仓储物流中心，2 处技能开拓中心（深圳和北京，做计较光刻、量测等开拓），拥有 1000 多名员工。

另外，ASML 还在中国专门建树了 1 个培训中心，作育光刻行业人才。

正如沈波所言，在遵遵法令礼貌的同时，ASML 尽力支持客户和中国集成电路行业的成长，在每个阶段 ASML 和中国集成电路业界都有着很好的相助。

他还暗示，ASML 在中国的整体状态越来越好，将来处事会更多样化，对中国的投入也会越来越大。

EUV 光刻机未能出口中国大陆的基础缘故起因

作为环球最大的光刻机企业，ASML 独自享受着 EUV 光刻机技能带来的贸易成长便利，但同时也不得不遭受大国竞争和斗嘴下的极重政治枷锁。

一个典范的案例，就是 EUV 光刻机向中国大陆出口受阻。

EUV 光刻机是光刻机在成长进程中的第五代产物，因为回收了极紫外线，它的最小家产节点到了 22nm-7nm，可以说是天下上最先辈的光刻机装备——而这种装备，只有 ASML 能造出来。

在 EUV 技能的研发层面，ASML 也经验了费力跋涉的进程。

现实上 ASML 从 1999 年就开始 EUV 光刻机的研发事变，原打算在 2004 年推生产物，但直到 2010 年才研发出第一台 EUV 原型机，2016 年才实现下旅客户供货——乃至到 2019 年，第一款 7nm EUV 工艺的芯片才正走向商用。

不外，在美国主导的《瓦森纳协定》（Wassenaar Arrangement）的影响下，这一高端装备对中国大陆的出口受到严酷限定——一向到 2018 年才产生起色。

2018 年 4 月，中芯国际向 ASML 订购了一台 EUV 光刻机，代价 1.2 亿美元，估量 2019 年年头交货——其后此事被报道后，ASML 回应称，对包罗中国客户在内的环球客户都等量齐观，且向中国出售 EUV 光刻机并没有违背《瓦森纳协定》。

其时，荷兰当局简直向 ASML 发放了出口容许证。

然而，天故意外风云，这场买卖营业从一开始就受到阻碍。按照知恋人士的说法，美国当即盯上了这笔买卖营业——接下来的几个月里，美方官员至少四次与荷兰官员开会，接头能否直接封杀这笔买卖营业。

但落井下石的是，2018 年 12 月 1 日，ASML 元件供给商 Prodrive 的一家工场又产生重大火警，ASML 其时果真暗示，2019 年年头的出货估量将遭递延。

与此同时，美国当局继承就这笔买卖营业举办背后运作。

2019 年元旦前后，美国国防部官员在荷兰驻华盛顿大使馆向对方接头了这笔买卖营业的 “安详风险”；随后在 2019 年 6 月，美国国务卿蓬佩奥会见荷兰，再次向荷兰当局施加压力，要求遏制这笔买卖营业。

值得一提的是，2019 年 6 月 30 日，荷兰当局向 ASML 揭晓的出口容许证到期。

2019 年 7 月，荷兰宰衡 Mark Rutte 会见美国，美国白宫高级官员向他展示了一份谍报陈诉，内容是所谓 “中国得到光刻机的也许效果”。据路透社报道，这次会见后不久，荷兰当局抉择不再续签这份容许证——从此 ASML 未呈此刻荷兰社交部数据库的续署名单上。

从此，关于 EUV 光刻机向中国大陆出口，ASML 的官方说法一向是：公司仍在守候新容许证申请的核准。而针对媒体对付美国施压的报道，荷兰社交部也在 2020 年在 1 月 15 日暗示：

在抉择是否签发出口容许证时，荷兰当局要衡量经济和安详好处。

由此，ASML 向中国市场出售 EUV 光刻机的打算，就此弃捐。

小结

2020 年，跟着美国对中国半导体规模的打压，国人对付光刻机的存眷度越来越高，而 ASML 也因此受到存眷。

（编辑：湖南网）

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