中国芯片制造迈出一大步！中科院造出最强紫外超判别光刻机

海内的芯片制造商中芯国际、长江存储等厂商不得不高价从 ASML 买入光刻机。

本年 5 月，日经亚洲评述曾报道，中芯国际向国际半导体装备大厂 ASML 下单了一台 1.2 亿美元的 EUV 光刻机，估量将于 2019 年头交货。

其它，长江存储本年也从 ASML 买入一台浸润式光刻机，售价高达 7200 万美元。

那么，所谓的光刻机到底是啥？

光刻机道理

光刻机，芯片制造的焦点装备之一。中科院光电所的胡松、贺晓栋在《中科院之声》颁发的一篇文章中这样先容它的重要性：

后家产期间包罗此刻的家产 3.0、家产 4.0，都以芯片为基本，光刻机作为制造芯片的器材，就相等于家产期间的机床，前家产期间的人手。

但较量非凡的是，光刻机以光为“刀具”。详细来说，工艺流程大抵是这样的：

在硅片外貌包围一层具有高度光敏感性光刻胶，再用光泽透过掩模照射在硅片外貌，被光泽照射到的光刻胶会产生回响。

从此用特定溶剂洗去被照射/未被照射的光刻胶， 就实现了电路图从掩模到硅片的转移。

引自：《一文看懂光刻机》，华创证券

这只是一个简化的进程，凡是环境下，想要用光刻机制造出一个芯片，必要在极其渺小的布局长举办上百次套刻和数千道工艺，必要几百种装备才气完成。

这次中科院研制乐成的光刻机，手段到达了 22 纳米。这是什么观念呢？中科院的文章中提到了一个比拟：

头发的直径约为 80 微米，22 纳米是头发直径的1/3600。也就是说，这个光刻性可以或许在头颁发面加工各类伟大的布局。

这台光刻机，是谁研发出来的？

（编辑：湖南网）

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