IMEC展示基于FinFET的最小生物传感器，实现分子级检测

据麦姆斯咨询报道，IMEC克日展示了回收硅FinFET(鳍式场效应晶体管)工艺的最小生物传感器。IMEC是一家位于比利时鲁汶的微电子研究中心，回收与CMOS工艺兼容的制造流程，可实现10000颗“bioFET(生物场效应晶体管)”并行事变的批量出产，并集成于高通量、高性价比的检测器材中。今朝，该检测器材的检测精度为数十个分子，IMEC的最终方针是实现可检测单个DNA分子的高精度bioFET。

得益于高集成度和低本钱潜力，FET(场效应晶体管)引起了生物传感(譬喻DNA、卵白质、病毒检测及pH传感等)应用规模的普及乐趣。当生物分子与栅极的化学修饰介电外貌结适时，FET阈值电压产生变革，发生可丈量信号。

IMEC的bioFET与DNA分子(图顶用赤色绘制)团结的表示图(源极和漏极均用金色绘制)

尽量IMEC在该规模的研究取得了一连性盼望，但传统认知里FET器件尚未转变为成熟的传感产物。该研究中心试探了具有3D栅极布局的FinFET是否可以进步bioFET的迅速度，并开发新应用规模。FinFET具有高度集成化和并行化上风，但市场对其作为bioFET的潜力知之甚少。

优化后的FinFET器件长度减小到50纳米，证实了其对纳米级FinFET外貌数十个DNA分子的强盛检测手段。该研究中心猜测，基于尝试和模仿，在小于70纳米的FinFET中，实现信噪比(SNR)大于5的单分子检测是也许的。

“我们施显现有手段将大量纳米器件集成到伟大体系中，不只能得到更好的计较机或通信器件，还能为生命科学提供基于芯片的器材，这将对迄今为止显现难以得到的生物学细节手段造成倾覆性的改变。”IMEC卫生技能首席技能官Peter Peumans评述道。

（编辑：湖南网）

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