国产光刻机之路,任重而道远

那么阿斯麦制造的EUV光刻机都卖给了谁？数据表现，2019年该公司共出产了26台EUV光刻机，个中有一半卖给了台积电，剩余一半卖给了英特尔、三星等客户。海内半导体代工企业中芯国际曾花了1.2亿美元订购一台，由于你懂的缘故起因，至今尚未交付。

1983年，其时仍旧附属飞利浦科学与家产部的阿斯麦公司工程师们，正在检测PAS2000型光刻机，阿斯麦公司是飞利浦与ASM公司合伙成立的企业

荷兰阿斯麦的乐成不是偶尔的，也是有迹可循的，起首，它30年内专注成长光刻机焦点技能，保持不变的计谋方针，不绝研发新技能新产物。从浸入式光刻机到EUV光刻机的出产，阿斯麦和它的相助搭档不绝挑衅摩尔定律，打破芯片加工极限。而作为曾碾压阿斯麦的竞争敌手，佳能和尼康逐渐进入数码相机等来快钱的斲丧电子市场，从而失去了光刻机规模的上风。

其次，阿斯麦通过投资和入股等方法，获取光刻体系的焦点技能，而光刻机90%的其他部件都是相助和外购天下顶级技能产物，好比德国机器、蔡司镜头和美国光源。同时引入英特尔、台积电和三星等电子巨头的注资，形成了无法复制的计谋好处配合体。

阿斯麦和台积电等下流公司也同样通过股份计谋相助，形成好处和研发配合体，台积电用EUV考验芯片加工技能，同时台积电又把芯片加工中碰着的题目和新的要求不绝反馈给ASML，从而开创技能创新和质量改造的双赢排场，台积电也成为环球首家提供5nm制程代家产务的芯片厂商。

国产之路，任重道远

再来看看海内的光刻机研发状况，着实我国在60年月第一块集成电路问世之后，就开始了光刻工艺的研究，但在80年月往后，跟着“造船不如买船，买船不如租船”的说法风行，因为也缺乏响应的芯片财富链，许多自主攻关项目纷纷下马。当前，我国光刻机的首要出产厂家是上海微电子，已经实现90纳米制程量产，28 nm工艺的国产光刻机也估量在2021年交货，固然和国际领先的5 nm尚有几倍差距，但已经可以满意海内芯片市场的中端需求。

2019年4月，光电团队武汉国度技能研究中心团队操作两束激光在自主研发的光刻胶上打破光束衍射极限，操作远场光学乐成镌刻出一条宽9nm的线段，实现了从超判别率成像到超扩散极限光刻的重大创新。然而，从技能尝试室乐成，到可批量化大批制造的商用装备，仍旧尚有很长的路要走。出格是必要几万个零部件要到达高精准度的高端光刻机，个中的要害高精度零部件好比镜头、光源、轴承等，今朝海内财富链的制造程度还暂且达不到，必要恒久连系攻关，我们的使命仍旧难题而沉重。

（编辑：湖南网）

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