盘点国产光刻产业链的“星星之火”，十三年磨一剑背后的中国芯片
发布时间：2020-12-28 19:44:21 所属栏目：业界 来源：未知
导读：本年六月份有动静传出，国产光刻机龙头上海微电子将在一年内交付用于28nm制程出产的193nm ArF光刻机。 其它，据方正证券本年宣布的相干研报，国度02专项光刻机项目二期曾设定，拟于2020年12月验收由上海微电子计划集成的193nm ArF浸没式DUV光刻机。 这一技能
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