海内创始，京仪设备研发出高速集成电路制造晶圆倒片机，可用于 14nm 制造

11月30日动静 据北京商报，位于北京经开区的北京京仪自动化妆备技能有限公司（以下简称 “京仪设备”）自主研发出了高速集成电路制造晶圆倒片机，每小时 300 片以上的倒片速率指标达国际先历程度，成为海内创始的高速集成电路制造晶圆倒片机，可用于 14 纳米集成电路制造，冲破了国际把持。

IT之家相识到，京仪设备客岁 12 月也研发出了海内首台晶圆自动翻转倒片机，以后宣告我国打破该系列装备的国产化困难。

晶圆倒片机是用来调解集成电路产线上晶圆出产原料序各位置的一款装备，它的使命是将产线上的晶圆通过制程必要举办分批、归并、翻转后举办下一道措施，这就要求晶圆倒片机拥有极高的传送服从和清洁水平。

京仪设备副总司理周亮称，这款高速集成电路制造晶圆倒片机在倒片手臂上的晶圆打仗点方面，与以往行业内普及应用的高速倒片真空装置差异，颠末研发试验，选取应用了特种原料，从而停止了真空装置事变中易发生颗粒物吸附的题目，可应用在 14 纳米集成电路产物以及更高制程的高净化要说情形中。

（编辑：湖南网）

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